液相法晶体生长炉

1.结构紧凑，可采用并排布局，提高厂房利用率。 2.可兼容电阻或感应加热热场。 3.可配备多个加热器独立控制，工艺调试窗口大，便于同时控制轴向和径向温度梯度。 4.底部水冷坩埚轴带有中空测温孔，顶、底、侧均可配红外测温，便于温场监控和工艺调试。 5.可选恒功率、恒电流、恒温工作模式。 6.满足6-8寸半绝缘/导电晶体生长需求。