1.结构紧凑、可采用并排布局，提高厂房利用率。
2.可兼容电阻或感应加热热场。
3.可配备多个加热器独力控制，工艺调试窗口大，便于同时控制轴向和径向温度梯度。
4.底部水冷坩埚轴带有中空测温孔、顶、底、侧均可配红外测温，便于温场监控和工艺调试。
5.可选恒功率、恒电流、恒温工作模式。
6.满足6-8寸半绝缘/导电晶体生长需求。